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工程案例

上海某英國著名半導(dǎo)體機臺供應(yīng)商的研發(fā)中心排氣項目

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我公司于2020年為該公司上海研發(fā)中心設(shè)計并安裝了一套FSW-160洗滌塔設(shè)備。該研發(fā)中心所使用的機臺多用于半導(dǎo)體工廠內(nèi)的廢氣處理配套,機臺試驗時所排出廢氣需按照半導(dǎo)體行業(yè)排放標準進行處理,對廢氣處理設(shè)備的性能要求較為嚴苛。為實現(xiàn)該目的,我方在此套廢氣處理系統(tǒng)中添加安裝了各類壓力控制、藥液供給控制及檢測單元,用以在自動運行模式下實時保證設(shè)備處理效果。配用動力設(shè)備如:排氣風機、循環(huán)泵由協(xié)和化工日本總公司生產(chǎn),有技術(shù)性能穩(wěn)定、壽命長、故障率低、惡劣工況下效率高等優(yōu)秀特點。為客戶實驗機臺的運行和實驗操作的穩(wěn)定進行提供了良好的排氣保障。


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